近日，电科装备北京中科信公司“45-22nm低能大束流离子注入机”和电科装备北京中电科公司“12英寸晶圆减薄机”凭借雄厚的技术实力，进入“第十一届（2016年度）中国半导体创新产品和技术”目录。
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电科装备两设备进入 “中国半导体创新产品和技术”目录
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