第十届（2015年度）中国半导体创新产品和技术获奖名单揭晓，我公司5个项目榜上有名：45所JBQ—3100型自动金属膜剥离机；48所Y08—3/UM型全自动硅片品质分选设备；北京中科信公司90～65nm大角度离子注入机；北京中电科公司8英寸晶圆减薄机及8英寸全自动划片机。
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