欢迎来到中电科电子装备集团有限公司！

CETC
  • 首页
  • 公司概况
    公司简介　　 成员单位
    公司概况
  • 新闻中心
    公司新闻　　 科研及经营动态
    媒体报道　　 视频专区
    会展信息　　 公司刊物
    国资要闻
    新闻中心
  • 公司产业
    装备板块　　 新能源板块
    其他产品
    公司产业
  • 人力资源
    人才理念　　 招聘职位
    人力资源
  • 联系我们
    联系方式
    联系我们
    • CETC

    .

    中电科电子装备集团有限公司     京ICP备19002250号-1     京公网安备11010602005565号 | 网站建设：中企动力天津

    联系我们

    公司概况
    公司简介
    企业荣誉
    企业资质
    成员单位
    新闻中心
    公司新闻
    科研及经营动态
    视频专区
    公司刊物
    国资要闻
    公司产业
    装备板块
    新能源板块
    其他产品
    人力资源
    人才理念
    招聘职位

    微信公众号

    CONTACT US

    (010)67850599

    公司产业

    首页
    >
    公司产业
    >
    装备板块
    >
    集成电路装备
    >
    IC
    >
    离子注入机
    浏览量:
    名称

    离子注入机

    中束流离子注入机：高端应用、工艺配套         同等质量、成本领先         本地服务、时间领先特种离子注入机： 材料改性         半导体器件制造         大功率器件制造大束流离子注入机：完成β机和商品机开发，在大生产线进行45-22nm工艺验证。高能离子注入机： 技术创新         广泛合作
    所属分类
    IC
    没有此类产品
    产品描述
    主要参数
    关键特点
    中束流离子注入机：高端应用、工艺配套
                      同等质量、成本领先
                      本地服务、时间领先
    特种离子注入机：  材料改性
                      半导体器件制造
                      大功率器件制造
    大束流离子注入机：完成β机和商品机开发，在大生产线进行45-22nm工艺验证。
    高能离子注入机：  技术创新
                      广泛合作
    未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加
    中束流离子注入机：
                      中束流，剂量2E11-1E16 ions/cm2
                      200mm/300mm，静电吸盘，单片注入
                      单电荷1kev-300kev，最高三电荷900kev
                      平行束，水平、垂直二维角度检测与修
     特种离子注入机：
                      多元素注入: B+、P+、H+、He+、Ar+、O+、 Ni+、Zr+、Mo+、Fe+等；
                      批装载，单片注入，基片尺寸为3-6”
                      单电荷1KeV-300KeV；
                      低温靶（液氮冷却）、常温靶、高温靶（600℃）三种靶盘可选。
     大束流离子注入机：
                     大束流，剂量2 E 12 - 2 E 17 ions/cm2
                     300mm，静电吸盘，单片注入
                     单电荷200ev-50KeV
                     200ev，B+束流大于2mA
                     宽带束，水平角度检测与修正
     高能离子注入机：
                     300mm，静电吸盘，单片注入；
                     单电荷10KeV-1500KeV；
                     平行束，水平角度检测与修正；
                     最大生产率,250片/小时；
                     注入均匀性和重复性可达0.5%。

     

    暂未实现,敬请期待
    暂未实现,敬请期待
    上一篇
    湿法清洗设备
    DXQ-401多线切割机
    下一篇