近日，国资委科创局公布了《中央企业科技创新成果推荐目录（2022年版）》（以下简称《推荐目录》）。本次推荐目录共涉及核心电子元器件、关键零部件、分析测试仪器、基础软件、关键材料、先进工艺、高端装备七个领域。电科装备北京烁科中科信公司大束流离子注入机作为高端装备成功入选《推荐目录》。
国资委为促进中央企业科技成果向现实生产力转化，加快成果应用推广，自2022年起组织开展中央企业科技创新成果征集工作，通过征集遴选、专家评估、专利审核等环节，确定并发布了该目录。此次大束流离子注入机成功入选，充分体现了公司在离子注入领域的科技创新实力，进一步扩大了行业的品牌影响力。
大束流离子注入机作为全系列离子注入机中的拳头产品之一，北京烁科中科信以创新赋能其产业化进程，用技术迭代提升其产品性能，全面保障了设备在产线的运行状态，展现了更高水平的产能，切实维护了集成电路领域供应链的安全。目前，低能大束流离子注入机8寸产线已实现了工艺全覆盖及批量跑货，累计跑货量超500,000片，12寸产线28nm及以上工艺实现全覆盖，应用于先进制程的高温注入机已完成整机设计及组装，现已实现在高温600℃以上时，设备仍能均匀吸附晶圆，且能够保障高效稳定传输。
长久以来，北京烁科中科信始终坚持面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求，不断向科学技术广度和深度进军，力争打造原创技术“策源地”，持续加强产品精益化研究，坚持深化产品技术定型管理，将标准工艺、标准生产周期、标准成本及标准服务充分结合，取得了一系列突破性技术成果，实现全系列离子注入机齐头并进发展。
未来，北京烁科中科信将以成为自主可控离子注入技术引领者为矢志不渝的目标，为国产离子注入装备可持续高质量发展注入更多动能！