编者按：近日，新华通讯社旗下瞭望东方周刊杂志探索中关村数个特色园区，解码北京高质量发展的动力源。北京烁科中科信作为填补技术空白的行业“顶流”之一，受到聚焦。

“引力场”也是“动力源”

“拎包入住”的成长环境加快成果转化企业聚集，一个又一个填补技术空白的行业“顶流”扎堆涌现。

“集成电路产业链很长，离子注入是这条产业链前道核心关键装备。先进技术节点的集成电路芯片，通常需要近30道注入工序，对设备的注入能量、剂量、角度、颗粒污染、金属污染等控制要求严苛，以确保器件电性能、合格率满足要求。但此前，高端的离子注入机长期被国外企业垄断。”北京烁科中科信电子装备有限公司总经理李进说。

瞄准国内技术空白，解决“卡脖子”技术难题，成为许多北京科创企业不约而同的创新目标。

通过技术攻关，北京烁科中科信将剂量注入精度这一核心技术指标提高到业界先进水平，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，打造注入机全谱系发展新格局，先后荣获北京市科学技术进步一等奖、二等奖，实现我国集成电路制造领域全系列离子注入机自主创新发展。