6月30日,电科装备旗下北京烁科中科信电子装备有限公司(以下简称北京烁科中科信)自主研制的国内首台高能离子注入机顺利进驻国内先进集成电路大生产线,开展客户端量产工艺验证。一旦设备通过验证实现产业化,将有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。
在这一里程碑式进展的背后有这样一群默默无闻的科研人员,他们平均年龄仅为29岁,满怀着青春的激情与热血,在无数次挑灯夜战的孤独探索中,扛起了推动国产离子注入机自立自强的重任,一路闯关夺隘、开拓创新,书写了一段装备报国的热血故事。
出征,突击队剑指“最高峰”
集成电路产业是信息技术产业的核心,是支撑国家经济发展和保障国家安全的战略性产业。在该产业中,中国与国际先进水平相比差距较大,其中又以作为产业基础的装备最为薄弱,离子注入机就是当中至关重要的核心装备。
近年来,我国各种型号的离子注入机逐渐从无到有,但是技术难度最大的高能离子注入机在国内还未有研发团队成功攻克。长久以来,因极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒,高能离子注入机被称为离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”。只有攻克这座高峰,才能补齐短板,助推全系列离子注入机产业化发展。
在电科装备的全力支持下,北京烁科中科信自主布局高能离子注入机,迅速集结了一支以青年党员为主的高能离子注入机研发党员突击队。他们说,“党旗所指,使命必达!”,所有成员紧紧拧成一股绳,尽显其能,担负起“发展国产装备,铸就国芯基石”的重任,向着最高峰出征。
鏖战,科研无捷径可走
“苟日新,日日新,又日新”。科研创新从来没有捷径可走,唯有坚定“不破楼兰终不还”决心,一路向前,奋勇开拓。
由于诸多原因,高能离子注入机仅是概念般的存在,设备研制初期几乎没有任何可供参考的经验,一切都要从“0”开始,这几乎是一个不可能完成的任务。突击队顶住压力,党员同志冲锋在前,勇当“探路者”。“没有条件,创造条件也要上!”是他们所有的心声。在“摸着石头过河”的艰难历程中,与技术难点斗争的“交火点”在哪里,党徽的光芒就闪耀在哪里。
没有经验积累,那就一点一滴自己总结。为使设备达到国际先进标准,符合大型FAB厂产线要求,研发团队将上万的零部件逐一校对完善,一次又一次地进行实验模拟,一遍又一遍地打磨设计图纸,每一次研发设计的升级都在为设备稳定运行加码。
没有技术基础,那就一步一步自主创新。团队党员带头集体扎根厂房,不放弃任何可能性,常常为了测试技术新方法,全体成员不眠不休,与数据死磕,直至出现他们满意的数据结果。
破局,积跬步以至千里
研发厂房的灯,点亮过最深的夜晚,迎接过最早的日出,感受过失败的沮丧,最终见证了成功的喜悦。
突击队凭借着不服输的劲头,关关难过关关过,步步难行步步行,伴随着一声声激动的呐喊声从设备研发中心传来,他们接连突破高能离子加速技术、高能机剂量控制系统等核心技术难关,完成了不可能完成的任务,将高能离子注入机从一张设计图纸真正变为国内首台能够稳定应用于主流先进高能离子注入工艺的设备。
突击队的追求远不止于将设备成功研制,他们清楚地明白,只有追上世界主流水准,才能谈及未来赶超发展之梦。在高标准、严要求下,该台自主研制的高能离子注入机设备最高能量达到世界主流设备先进水平,可有效解决高端图像传感器集成电路制造中的技术难题,同时很好地向下兼容逻辑、存储、功率集成电路中要求较低的高能离子注入工艺。
历史从来都眷顾那些与时偕行的奋进者、直面挑战的勇敢者、善作善成的实干者。高能离子注入机党员突击队用实干擦亮“烁科品牌”,每一位成员身上都折射出璀璨的光芒。设备进入产线只是阶段性胜利,他们顾不上分享胜利的喜悦,立刻投身到产线工艺验证环节,为离子注入机征途续写新的辉煌篇章,以优异成绩迎接党的二十大胜利召开!