日前，“第十四届（2019年度）中国半导体创新产品和技术”评选结果公示，烁科中科信成功入选，低能大束流离子注入机CI系列进入中国半导体创新产品行列。

　　本次项目的成功入选离不开技术人员夜以继日地攻关夺隘。大束流离子注入机自2016年7月启动研发工作以来，一路披荆斩棘，2017年原理样机测试完成，2018年开始启动上线改进工作，2019年4月完成原理样机上线改造工作，2020年8月成功入选“第十四届（2019年度）中国半导体创新产品和技术”，四年磨一剑，项目全体人员克服了研发周期短、技术领域广、技术难度大等重重困难，在客户端完成了主要工艺指标的验收。

　　未来，烁科中科信将以发展国产装备，铸就国芯基石为己任，坚持创新驱动，在推动国产离子注入机产业化进程上做出新的更大贡献。