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    电科装备200mmCMP商用机设备正式入驻上海某用户

    电科装备200mmCMP商用机设备正式入驻上海某用户

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    　　1月15日，由电科装备45所研制的200mmCMP商用机设备正式入驻上海华虹宏力半导体制造有限公司，标志着电科装备在实现集成电路核心装备自主可控的道路上又迈出了坚实一步。

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