近日，中芯国际天津厂传来捷报，通过近一年的产线工艺性验证，电科装备45所自主研发的国产首台完全拥有自主知识产权的化学机械平坦化设备通过了验证。

　　截至日前，设备共完成超2万片产品的平坦化工艺，工艺、产能及稳定性数据达到产线水准，提升了电科装备在集成电路核心装备领域的话语权和影响力。