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首台量子通信应用离子注入机研制成功
日前,由电科装备48所成功研制我国首台用于量子通信领域的离子注入机,该设备是量子器件关键技术研究的核心设备,将为中科大量子科学研究团队提供核心工艺装备自主保障。
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电科装备特种传感器助力“一箭三星”成功发射
国产首台200mm CMP设备正式入驻天津中芯国际大生产线
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