由电科装备48所研发的国内首台SiC高温高能离子注入机在完成器件工艺验证之后，正式进驻某用户工厂现场SiC器件生产线。在生产试验调试中，通过不同注入能量、剂量的多批次注入工艺试验，方阻均匀性和平均值都媲美于进口设备的注入结果，获得了客户的认可，顺利通过现场验收。
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