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大尺寸碳化硅多线切割设备通过验收

  日前,由电科装备45所承担的“大尺寸碳化硅多线切割设备研制”顺利通过了北京市科委组织的专家组的验收,成功研制出了满足6英寸碳化硅切割需要的摆动式金刚线多线切割设备样机,各项性能指标达到国际先进水平。