近日,经过连续几天紧张的现场测试,由电科装备北京中科信公司自主研发制造的定制离子注入机——“LC-19DZ特种离子注入机”顺利发往清华大学。
LC-19DZ特种离子注入机项目是在现有离子注入机技术基础上,专门针对科研院所的特殊需求所研制的。其应用范围涵盖了半导体器件研究、材料改性、新材料合成、电力电子器件研究等多种领域,注入的离子几乎覆盖了元素周期表中所有的元素,设备既可以用于常温下注入,也可以用于高温的离子注入。
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近日,经过连续几天紧张的现场测试,由电科装备北京中科信公司自主研发制造的定制离子注入机——“LC-19DZ特种离子注入机”顺利发往清华大学。
LC-19DZ特种离子注入机项目是在现有离子注入机技术基础上,专门针对科研院所的特殊需求所研制的。其应用范围涵盖了半导体器件研究、材料改性、新材料合成、电力电子器件研究等多种领域,注入的离子几乎覆盖了元素周期表中所有的元素,设备既可以用于常温下注入,也可以用于高温的离子注入。