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三台国产离子注入机顺利发往客户

三台国产离子注入机顺利发往客户

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中电科

 

  近日,电科装备北京中科信公司3台国产离子注入机相继发往客户。其中两台将在中芯国际大生产线上进行流片,另一台将用于客户研发工作。