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中束流离子注入机剂量控制技术取得重大突破

中束流离子注入机剂量控制技术取得重大突破

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  近日,电科装备中束流离子注入机取得重大技术突破,剂量注入精度误差由2%提升到0.1%,达到业界先进水平。剂量控制技术作为离子注入机的关键技术,直接关系到设备的工艺性能,并且制约着机台的工艺拓展,一直以来,备受关注。研发团队结合客户需求,通过专题立项、多方位攻关,终于攻克此技术难题,将设备剂量注入精度提高至baseline机台水平。目前,此项技术已应用至客户机台,得到客户的高度认可。

  注入剂量控制精度的突破是电科装备在科研攻关中又迈出的坚实一步,为注入机28/14nm工艺的拓展奠定了基础, 大大提升了公司设备的核心竞争能力。