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电科装备又一项自主研发集成电路设备 技术获国外专利授权
日前,由电科装备45所自主研发的又一项集成电路设备技术——“具有压力调节机构的砂浆供给装置”通过了严苛的英国专利审查,成功获得英国专利授权。
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电科装备高速料箱库研发成功
“北京市化学机械平坦化(CMP)工艺设备工程技术研究中心”获认定
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