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国产首台200mm CMP设备正式入驻天津中芯国际大生产线

来源: 发布时间:2018-01-18

国产首台200mm CMP设备正式入驻天津中芯国际大生产线

11月21日,由电科装备45所研发的国产首台200mmCMP商用机通过了严格的万片马拉松式测试,启程发往中芯国际(天津)公司进行上线验证。这意味着国产设备得到了用户的认可,产品从中低端迈向了高端,也标志着电科装备向着实现集成电路核心装备自主可控,担起大国重器的责任迈出了重要的一步。
 

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