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  • 电科装备又一项自主研发集成电路设备 技术获国外专利授权

    来源:    发布时间:2017-03-02
    日前,由电科装备45所自主研发的又一项集成电路设备技术——“具有压力调节机构的砂浆供给装置”通过了严苛的英国专利审查,成功获得英国专利授权。[查看详情]
  • 电科装备高速料箱库研发成功

    来源:    发布时间:2017-03-02
    近日,电科装备2 所成功研发了高速料箱库。高速料箱库能够更智能、更快速地存取物料,实现以物料盒为单元的一对一存储。与此同时,设备运用了全伺服驱动、铝合金结构、同步带驱动的结构形式,自重轻、速度稳、效率高让这个“大箱子”变得更加轻盈。此外,设备“唯一识别码”的设计理念确保了每次存取物料的准确无误。 高速料箱库将主要 ……[查看详情]
  • “北京市化学机械平坦化(CMP)工艺设备工程技术研究中心”获认定

    来源:    发布时间:2017-02-15
    由电科装备45所申报的“北京市化学机械平坦化(CMP)工艺设备工程技术研究中心”顺利获得北京市工程技术研究中心认定。[查看详情]
  • SiC外延设备成功制备出7μm厚外延层

    来源:    发布时间:2017-02-10
    近日,电科装备48 所承研的SiC 外延项目取得重大技术进展,成功制备出7μm厚外延层,标志着SiC 外延设备已完成初步工艺调试。这是继SiC 高温高能离子注入机研制成功以来,48 所在第三代宽禁代半导体装备领域的又一重大突破,为我国在电力电子器件制造装备领域的自主可控贡献了新的力量。[查看详情]
  • 电科装备获得多项中国电科科学技术奖

    来源:    发布时间:2017-01-30
    2016年度中国电科科学技术奖评选落下帷幕,电科装备共获得科技进步一等奖1项、科技进步二等奖1 项、科技进步三等奖3 项、专利优秀奖1 项。其中,“面向IC先进封装的高密度倒装设备研发”项目获得集团公司科技进步一等奖;“节能型全自动双推板辊道电窑”项目获得集团公司科技进步二等“多功能精密组装系统”、“JBQ-3100 型自动金属膜剥离机 ……[查看详情]

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